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不同的真空系统要求的真空度不同,因此往往由一套真空机组来完成

时间:2018-09-22 11:29   来源:www.goldenwaychina.com  作者:www.1495.com
不同的真空系统要求的真空度不同。因此往往由一套真空机组来完成,即由工作在不同压力范围的真空泵串接起来。高真空一侧的真空泵能达到系统要求的真空度,而低真空一侧的真空泵是直排大气的。显然简单的真空机组就是一台直排大气的真空泵。
真空机组往往需要三级机组的另一个原因归结于高真空泵的吸入压力的限制。泵都有起始工作压强,传统的高真空泵都在几Pa的范围。因此前级泵预抽到这一压力主泵才能开始工作。但直排大气的前级泵抽至这一压力往往需要较长的时间,因为随着压力降低泵的抽速在减小,特别是对于周期性抽气的真空机组,对达到工作真空度的时间是有要求的,预抽时间越长,进入工作真空度的时间也越
罗茨泵和油增压泵都可以作为中真空泵,分子增压泵有的压缩比,这除了使它能获得清洁真空外还具有优异的高真空性能,同时在中真空范围也有的抽气能力。这就使分子增压泵成为目前兼有中高真空性能的真空泵,所以只需要与低真空泵配合便能组成性能堪比三级机组的高真空机组
 

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